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基于惯性粘滑的驱动信号分析及优化

发布时间:2020-02-03 13:44

  摘要:在当今各项纳米技术中,惯性粘滑驱动技术既可以高精度定位,又可以大行程运动,具有体积小,重量轻,能耗低等优点。经各国研究,此技术现已广泛应用于微型机器人、微纳操作、光学显微、生物医疗、半导体等邻域,解决了许多现代科学和工业领域中存在的难题,具有广阔的发展前景。

  惯性粘滑驱动平台由驱动信号激励压电陶瓷伸长,运动由每一步位移组成,单步运动精度达到纳米级,而单步运动时间极短,多步叠加使得连续运动行程达到毫米级。对驱动信号的研究是惯性粘滑驱动的基础技术,提高驱动平台的单步步长可以直接提高平台的运动性能。

  本文主要研究驱动信号对惯性粘滑驱动的影响,建立了惯性粘滑驱动的运动学模型,通过改变输入信号得到仿真结果,最后利用现有的惯性粘滑驱动平台和设备进行实验,探究驱动信号对惯性粘滑驱动的实际影响规律,最终得到一个有效提高平台驱动性能的优化信号。

  关键词:纳米技术;惯性粘滑;压电陶瓷;

  第一章 绪论

  1.1课题背景和意义

  当今纳米技术是公认领先的科技领域,纳米技术的发展解决了许多现代科学和工业领域中存在的难题,加速地改变人们的生活,有望在未来代替现有的大多技术,蕴藏着巨大的科学价值、经济价值、社会价值。纳米技术是在纳米尺度上,1nm到l00nm之间,研究物质的特性和相互作用,比如原子和分子,以及利用这些特性的多学科交叉的科学和技术,涉及机械工程、电子信息、材料工程、计算机、生物学等众多学科。该技术中材料的制备和研究都是在纳米尺度下进行的,由执行机构完成对目标对象的驱动定位,其中的驱动器性能直接影响整个系统的驱动定位技术水平。

  一般的驱动器是以电动机为动力源,通过机械传动装置驱动负载。电机自身低频震荡、高频失步、能耗较高、发热量大,不适合精密驱动。机械传动机构的传动副具有间隙,也不适合微米级以下精度的定位。所以,传统的机械式驱动技术很难实现对纳米级尺寸的材料进行对准、移动、装配等操作,各国科研工作者正在积极致力于研究新型精密驱动技术,来满足体积小、重量轻、能耗低、高精度定位和跨尺度运动的性能要求。

  当前具有代表性的跨尺度精密驱动技术有:尺蠖型驱动、压电超声马达驱动、宏微混合驱动、压电惯性粘滑驱动等。由于结构简单紧凑、生产成本低、精度高、速度快、理论上无限位移等特点,惯性粘滑驱动技术被广泛应用于微型机器人、微纳操作、光学显微、生物医疗、半导体等各个领域,显示出了非常广阔的发展前景。

  惯性粘滑驱动器以压电陶瓷作为驱动元件,基于压电驱动原理,利用陶瓷变形的惯性,通过不断的摩擦接触产生近似锯齿形位移。而不同的驱动信号特征,如电压幅值、频率、阶跃时间、驱动信号波形等,直接影响了压电陶瓷的驱动位移、速度、加速度等运动特性,决定了驱动器的驱动效果。分析驱动信号影响惯性粘滑驱动特性的原因,优化现有的驱动信号,有利于改善驱动器性能,提高科技水平和生产效率。因此,对于惯性粘滑驱动信号的研究具有重要的理论意义和实用价值。

  1.2国内外研究现状

  在上世纪末,国外就已经开始研究惯性粘滑运动机理,并将其应用到驱动技术中。随着压电陶瓷的发现和其表现出的优良响应特性,国内外研究人员已经将压电陶瓷应用于惯性粘滑驱动上,设计出了许多压电驱动的模型和产品设备,在驱动信号对压电陶瓷的影响方面得出了一定的实验成果。

  国外的L.Juhas等人[1]1990年就研发出了一个利用惯性粘滑原理的压电驱动器,三条驱动腿由分区极化的压电陶瓷制成。平台靠驱动腿的缓慢弯曲和快速延伸来实现步进式运动。通过合适的信号控制,该驱动器能在平面上移动和竖直方向转动,每一步的精度可以达到0.2μm,负载可以达到220g。

  图1-2 L.Juhas等人研制的惯性粘滑驱动器

  Yassine Haddab等人[2研制了一种闭环惯性粘滑驱动系统,驱动部分利用了堆叠型压电陶瓷的剪切变形。在这个系统中,用PID 控制算法计算扫描运动,用电压/频率比率控制算法计算步进运动,步进运动中的振动得到了显著减小。在驱动信号对压电陶瓷的影响方面,实验得出结论是:信号频率和锯齿波的振幅与运动误差成正比

  图1-3 Yassine Haddab等人研制的惯性粘滑驱动平台

  日本电气通信大学 Yoshihiro Nomura等人[3]一种用于SEM的惯性粘滑运动平台,可以实现XY平面移动和Z轴转动。平台中设置如图1-4中两两平行的四个压电陶瓷,连接两个对角的惯性块,当平行的两个陶瓷分别伸长缩短时,实现平行线方向的运动;当另外两个也共同作用时,实现竖直方向转动。平台尺寸28×28×16.5mm,下方由三个球体支撑移动。在0.23V及600Hz的输入波形下,可以达到16.8nm的分辨

  图1-4 Yoshihiro Nomura等人的惯性粘滑运动平台

  德国 Attocube System 公司[4]研制了用于 SEM 下微操作的精密运动平台,如图1-5所示。其中每侧安装有型号ANP101的运动平台,用以实现X、Y、Z三个自由度的运动,最大负载达到200g,最大输出力达到5N。由压电陶瓷驱动所有平台,三轴运动范围都达到 5mm的精度,平台尺寸是24×24×11mm,步进模式下的最小步距是50nm,运动范围是5mm,扫描模式下的扫描范围是5μm。

  图1-5 Attocube System 公司的粘滑驱动平台

  德国Physik Instrumente公司在压电陶瓷驱动平台的研究方面处于领先地位,有着非常全面的精密驱动产品线。图1-6(a)是PI公司最新研制的Q-821型号六轴位移台[5],侧面长度仅为80mm,线性行程达6×6×3mm,旋转行程达6×6×16.5?,分辨率为1nm, 速度大于5毫米/秒,最大负载能力为1N。图1-6(b)是P-853·P-854压电微米驱动器[6],行程范围达18mm,分辨率达25μm,动态操作达10Hz,轴向推力和拉力为10N和5N

  (a) 六轴位移台 (b) 微米驱动器

  图1-6 Physik Instrumente公司的产品

  相比于国外,国内对于跨尺度精密驱动技术的研究较晚,惯性粘滑驱动相关的研究较少,鲜有成熟的压电驱动定位产品。

  吉林大学的邵明坤[7]设计了一种利用柔性铰链机构的惯性粘滑压电驱动器。驱动器的传动部件有两部分:叠堆型压电陶瓷和桥式柔性铰链机构。为保证驱动器平稳驱动,采用了对称分布的结构。该驱动器最大牵引力为1.58N,最大承载力为50N,精度达10nm,平稳运动的承载范围是0-5N。实验中运动步长与电压近似成正比关系,运动速度与频率成线性关系。

  图1-7 邵明坤设计的驱动器 图1-8 华顺明设计的载物平台

  华顺明等人[8]研制了一种双压电薄膜晶片驱动的载物平台,可实现水平面XY方向的移动,如上图1-8。在电场作用下,双压电晶片中间明显弯曲变形,基于惯性粘滑驱动原理来运动。建立动力学模型并仿真分析,实验测试样机,结果表明该运动平台有着结构简单、体积小、成本低、步距稳定、行程大等特点。在实验中,当电压低于30 V驱动时,步距误差不超过0.5μm,承载能力约为自身质量的7~8倍。

  苏州大学的李宗伟[9]设计了一种采用交叉滚柱导轨作为支撑和导向件的惯性粘滑驱动平台,如下图1-9。在试验中利用电容式测微仪,在驱动频率和驱动幅值对运动的影响方面进行了研究,得出结论是:惯性粘滑驱动平台的运动速度随着驱动频率的增加而变快,且为明显的线性关系;惯性粘滑驱动平台的运动速度随着驱动幅值变大而变快,且为非线性变化。

  图1-9 李宗伟的惯性粘滑驱动平台

  哈尔滨工业大学的张世忠等人[10]设计了一款用于SEM微纳操作的粘滑驱动定位平台。该平台由平板和十字铰链组成,可实现水平、垂直和转动的定位,在动态输出特性测试中,得出在1kHz范围内具有良好的全功率锯齿波响应特性,运动速度与驱动信号幅值和频率成正比的结论。

  图1-10 张世忠等人设计的粘滑驱动定位平台的结构模型图

  目前,惯性粘滑驱动技术由于其出色的性能受到了国内外学者的关注。国内外学者在此方面做了很多的研究工作,研究着重于方法探讨和技术实现上,主要通过改善机械结构、运用新材料等方面实现驱动性能的提高。为了实现高性能的惯性粘滑驱动,需要从原理上探究驱动信号如何影响驱动性能,在粘滑驱动的动力学模型和运动生成机理方面进行深入挖掘。本文将从惯性粘滑驱动信号着手,在驱动信号及参数等方面更进一步的深入了解惯性粘滑驱动,通过建立运动学模型、仿真分析、测试运动特性来得出优化信号,来提高惯性粘滑驱动的性能。

  1.3惯性粘滑驱动运动原理分析

  惯性粘滑驱动原理如图1-11所示,压电陶瓷两端分别连接惯性质量块和运动块,给压电陶瓷电压信号使其快速形变,产生惯性力实现运动。惯性粘滑运动通常分为三个部分:初始状态、粘滞周期和滑动周期。

  图1-11 惯性粘滑驱动原理图

  1.初始状态:压电陶瓷在没有驱动信号的作用下,保持原长

  2.粘滞周期:驱动信号的电压缓慢增大,压电陶瓷以较慢的速度缓慢伸长,伸长量,惯性质量块相应地向前移动。由于运动块与接触面之间的摩擦力足够大,压电陶瓷产生的惯性冲击力不足以使运动块克服摩擦力,运动块将保持静止;

  3.滑动周期:驱动信号的电压快速下降,压电陶瓷的变形量快速回复原长,惯性质量块将反向运动一段位移,同时由于压电陶瓷快速回复原长时,产生较大的惯性冲击力,使运动块克服摩擦力产生运动,最终产生步进位移通过重复上述的运动过程,实现运动块的单步步距的累加,最终实现跨尺度运动。

  1.4研究内容及目标

  体积小、精度高、速度快的惯性粘滑驱动技术是众多科技领域发展所需的关键,基于压电驱动原理,通过压电陶瓷形变提供的惯性力进行驱动,而驱动信号直接影响压电陶瓷的运动特性,本课题主要研究驱动信号对惯性粘滑驱动性能的影响,具体研究内容如下:

  (1)分析驱动信号影响驱动效果的原因。

  深入研究驱动信号对于惯性粘滑驱动的影响,从原理上探究驱动信号(幅值、阶跃时间、频率、驱动信号波形等)如何影响驱动性能,从驱动信号角度提出对驱动性能的改善措施。

  (2)惯性粘滑驱动系统动力学的建模仿真。

  通过运动学理论来分析影响因素还不够准确,需要利用Matlab对惯性粘滑驱动系统进行建模仿真,对驱动信号的优化方法进行参数化,从运动学角度得出影响原因。

  (3)实验验证理论是否正确,得出改善性能的结果。

  利用分辨率较高的仪器,仔细探究驱动信号变化,如电压幅值、频率、阶跃时间、驱动信号波形等,对驱动位移、速度、加速度的实际影响,验证是否与理论相符。

  研究目标:

  (1)分析驱动信号参数对惯性粘滑驱动的影响;

  (2)得到一个有效提高驱动性能的优化信号。

  第二章 惯性粘滑驱动系统运动学建模

  2.1引言

  惯性粘滑驱动速度是衡量平台性能的一个重要指标,在对惯性粘滑驱动的平台进行运动分析时,运动平台是周期运动,且在单个周期内,惯性粘滑驱动的位移与运动块的位移、惯性质量块的位移、压电陶瓷致动器的质心位移是一致的,所以,本章以运动块的运动学分析为主,分析运动块在一个周期的位移,从而得出运动平台的速度和运动性能。

  2.2惯性粘滑驱动信号的运动学模型

  在惯性粘滑运动中,有很多因素影响着驱动器的运动性能,比如陶瓷本身的运动特性,运动块的参数,运动块与摩擦界面之间的特性等。所以在分析惯性粘滑驱动的运动学模型时,要先定性分析,简化复杂因素后,再考虑其他因素的影响。

  本章对惯性粘滑驱动模型做了以下简化,以建立运动学模型:

  (1)将压电陶瓷看做刚体,不考虑自身的阻尼和揉度;

  (2)默认压电陶瓷的加/减速时间相等,恒定值

  (3)压电陶瓷两端与运动块和惯性质量块都是刚性连接;

  (4)采用库伦摩擦模型,滑动摩擦力和最大静摩擦力都是恒定值f。

  2.2.1压电陶瓷的运动学模型

  优化的惯性粘滑驱动信号和压电陶瓷致动器的实际位移曲线如图2-1所示,在压电陶瓷缓慢伸长的过程中,陶瓷的加速度恒定 ,当驱动器的位移量达到最大值时,压电陶瓷伸长量快速回复到零。陶瓷在电压驱动下的相应的变形量为,陶瓷在缓慢伸长时所达到的最大速度为

  下的平均速度和单步步长

  如图3-15,驱动信号整体时间由较短到较长,平台从未停止运动就接受下一个信号到平台停止运动后接受下一个信号,平均速度先增大后减小,单步步长逐渐增大到8.4um后停止增加,再增加信号时间也不会增大。在摩擦力2N下最佳时间约为583us,连续运动每步均等于最大单步步长8.4um。

  第四章 驱动信号对惯性粘滑性能影响的实验研究

  4.1引言

  上一章中驱动信号影响平台运动性能的仿真研究简化了很多影响因素,未必与平台实际运动情况相符,本章通过实验探究了不同驱动信号下惯性粘滑驱动平台的运动情况。

  如图4-1是实验设备,由惯性粘滑驱动平台、光栅尺、信号发生器、压电驱动电源、示波器组成。实验由信号发生器输出驱动信号,经过压电驱动电源放大15倍,示波器显示实际输出信号,光栅尺测量平台位移。

  图4-1 实验平台

  4.2信号频率对运动性能影响的实验

  本节使用二阶阶跃下降的驱动波形,测试不同摩擦力下,信号频率对单步步距的影响,实验时信号电压幅值150V,阶跃时间20us,测得五组单步步长(um)取平均值,如表4-2:

  图4-7不同电压幅值U下的单步步长

  如图4-7,随着电压幅值增加,平台的单步步长呈近似线性的增长趋势。

  4.5连续波形最佳缓冲时间实验

  在平台的运动中,需要连续发送波形实现连续驱动,波形之间的时间间隔过小时,平台未结束单步运动时就开始下一个波形驱动,导致连续运动的平均步距小于单步步长,实验在驱动信号幅值150V,阶跃时间20us时,测得不同摩擦力下的连续驱动最佳缓冲时间如表4-8:

  表4-8 连续驱动最佳缓冲时间

  摩擦力2N,3kHz4N,4kHz6N,5kHz8N,5kHz10N,5kHz

  时间833us750us700us700us700us

  当驱动波形之间的间隔过大时,可以看作单步驱动的重复,但平均速度则会降低。

  4.6振动波形对运动性能影响的实验

  振动波形如图4-9,在之前的驱动波形后增加振荡波形,可以提高平台运动性能。以下分别对振荡波形的幅值、周期、波长与单步步长的关系进行研究。

  图4-9 振动波形

  4.6.1振动波形幅值对步距的影响

  驱动波形幅值150V,阶跃时间20us,波长1000点,振动波形周期30us,波长1000点,幅值从0V到60V,实验测得不同摩擦力下的单步步长如表4-10:

  由图4-11可以看出,当摩擦力较小,单步步长随振动幅值增大而增大;当摩擦力较大,振动幅值6V内较小时,步长基本不增加,振动幅值30V以上步长增加减缓。当振动幅值过高时,会影响主要的驱动波形,但幅值在驱动波形的幅值一半以下时,能有效提高单步步长。

  4.6.2振动波形周期对步距的影响

  驱动波形幅值150V,阶跃时间20us,波长1000点,振动波形幅值30V,波长1000点,周期从20us到100us,间隔10us,实验测得不同摩擦力下的单步步长如表4-12:

  由图4-13可以看到,随着振动波形周期的增加,单步步长先增大到最大值后减小,振动最佳周期是30us。

  4.6.3振动波形波长对步距的影响

  驱动波形幅值150V,阶跃时间20us,波长1000点,振动波形幅值30V,周期30us,波长从60us到600us,间隔60us,即两个振动周期,实验测得不同摩擦力下的单步步长如表4-14:

  由图4-15可以看出,单步步长随着振动波形周期的增加而增加。虽然继续增加振动波长还继续能提高单步步长,但当单个波形时间过长,超过700us时,连续驱动时的速度将减小。

  总结

  本文研究驱动信号对惯性粘滑驱动的影响,旨在得到一个有效提高驱动性能的优化信号,概括了国内外对惯性粘滑驱动的研究现状,在库伦摩擦模型的基础上,分别建立了压电陶瓷、运动块、惯性质量块、压电陶瓷质心的运动学模型,利用 Matlab/simulink对模型进行仿真研究,得出驱动信号频率、阶跃时间、电压幅值、摩擦力等对驱动平台运动性能影响的仿真结果,最后进行实验研究,结论如下:

  (1) 不同摩擦力下的平台对应有不同的最佳驱动频率;

  (2) 信号阶跃时间越短,平台单步步长越大,运动性能越好;

  (3) 陶瓷可承受范围内,电压幅值越大,平台单步步长越大,运动性能越好;

  (4) 在连续运动最佳缓冲时间内增加30us周期的振动波形,可有效增加单步步长,提高平台运动性能。

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  致谢

  本文是在钟博文导师的悉心指导下完成的,导师严谨的治学态度和认真的做事风格深深地影响了我,特此向钟老师致以崇高的敬意!朱杰学长在我的学习和生活中都提供了巨大的帮助,同时也向细致照顾我的朱杰学长表达由衷的感谢!

  毕业设计做了近三个月,每天过得忙碌而充实,算是从学习到工作的一个过渡转变。我虽然上学期就已经找到了工作,但还没有体验过上班的生活,在老师的公司里,我见识了小型公司是如何运作的,提高了资料查找能力、office办公软件的使用能力、软件自学能力、实验设备操作能力和人际交往能力。这次毕业设计的过程中,整个公司里的人都给予了我一定的帮助与指导,让我接触到了学校里难以学到的技能和知识,感谢所有帮助过我的人,谢谢你们!

  最后多谢百忙中评审本文的诸位老师,感谢你们的建议指正!


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